三坐標(biāo)測量機(jī)的21項(xiàng)幾何誤差

通常將三坐標(biāo)測量機(jī)的幾何參數(shù)誤差按其在各運(yùn)動自由度方向作用分類，分為3項(xiàng)位置度、6項(xiàng)直線度、9項(xiàng)角擺誤差、以及3軸相互之間的3項(xiàng)垂直度，共21項(xiàng)參數(shù)誤差。
21項(xiàng)誤差是三坐標(biāo)的基本幾何誤差，為了保證其滿足示值誤差及探測誤差的要求，三坐標(biāo)廠家都要測量和控制這21項(xiàng)誤差，必要時(shí)進(jìn)行補(bǔ)償。
21項(xiàng)誤差的測量可以使用不同的測量儀器進(jìn)行檢測以便于修正，包括雙頻激光干涉儀、電子水平儀、直角尺、高精度電感測微儀，但是，需要注意的是，使用上述儀器測量參數(shù)誤差時(shí)，測量結(jié)果可能是幾種參數(shù)誤差的綜合結(jié)果。

這21項(xiàng)中有：
    1） X、Y、Z三個(gè)方向的位置度；
    2）沿X、Y、Z三個(gè)方向運(yùn)動時(shí)的六個(gè)直線（3X2）；
    3）沿X、Y、Z三個(gè)方向運(yùn)動時(shí)自轉(zhuǎn)、俯仰、方向九個(gè)角擺；
    4）X、Y、Z各軸間三個(gè)垂直度；
    對水平臂測量機(jī)則為24項(xiàng)誤差，即加上水平臂伸出時(shí)的下垂量誤差。

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